分子泵漏气（包括管路接口），其主要现象表现为电流过高，且分子泵的转速低于额定转速，真空度不稳定；
冷却水有问题，主要现象是温度高，电流率高，真空度无影响；轴承问题，使用时间过长或内部较脏，需要进行保养，更换新的轴承；
动平衡跑掉，现象是运转过程噪音高，泵体发热，真空度影响不大，但要注意观察，容易发生叶片打碎现象；内部较脏，特别是制成物堆积过多造成运转不畅，导致电机高负载，运转发热；
