如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安装辅助设备。
若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。选择真空泵时，应该知道被抽气体成分，针对被抽气体成分选择相应的泵。
正确地组合真空泵，由于真空泵有选择性地抽气，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。
