如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等,则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安装辅助设备。
若真空系统严格要求无油时,则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格,则可选择有油泵,然后加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。选择真空泵时,应该知道被抽气体成分,针对被抽气体成分选择相应的泵。
正确地组合真空泵,由于真空泵有选择性地抽气,因而有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。