光谱仪分析(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。
光谱仪分析(1) 能散和波散的区别应该先从 X 射线性质说起：X 射线作为电磁波的一种具有明显的波、粒二项性。波具有波长、频率，还有反射、折射、衍射等性质，粒子具有质量、速度、动能、势能等性质。以此两个不同物理性质研发的研究波长的 X 荧光光谱仪叫波长散射型荧光光谱仪，研究能量的 X 荧光光谱仪叫能量散射型荧光光谱仪。 (2)波长色散X射线荧光光谱像原子的发射\吸收光谱仪一样,是需要单独的色散光学系统分辨不同的特征 X 射线激发的二次荧光光谱,然后才由辐射检测器(比如正比计数器\半导体检测器等)检出;而能量色散型 X 射线荧光光谱仪不象前者需要单独色散系统,它的二次荧光光谱色散及检出都是由辐射检测器根据其不同的能量值将其检出并放在计算机或者单片机内。
光谱仪分析(1)应明确理解，荧光分析存在干扰的元素有很多，每一种需要测试的元素都会受到其它某些元素的影响。 如铅分析过程中常出现干扰，分析过程中常出现锗和铼干扰。 (2) 常见干扰[经验] Cd:Br/Pb/Sn/Sb Pb:Br/As Hg:Br/Pb/Fe/Ca Cr:Cl Br:/Fe/Pb (3) 同时使用两条以上的特征线进行测分析。例如 Pb，需要选取 PbLa 和 PbLb 这两条谱线进行测试和判断。