高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。高纯氨气
氦气密度比空气小，能够一直悬浮于空中。2、相比于活泼易烧燃的氢气，氦气属于惰性气体，常温下稳定，几乎不与任何物体发生化学反应，保证安全。3、制备成本较低。高纯氨气
氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中，通常采用黑色钢瓶盛放氮气。高纯氨气
