真空值是光纤光谱仪一个重要的参数，如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。操作人员可以通过看真空值曲线是否平缓，不平缓的话，就是漏气的地方。可以通过检查真空室真空盖密封性，更换密封圈来解决故障。
如果光纤光谱仪故障原因不是硬件问题，可通过调整、重新设置光谱仪参数等技术操作解决的，可自行处理。
死机程序错误 一般刚开始使用的光纤光谱仪如果出现这类问题的话，极有可能是通讯线接触不良。新仪器电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的START状态不对，都有可能是通讯线接触不良造成的解决的方法也很简单，只需要将此为通讯线接触不良，重新连接即可。