纯度是超高纯氦气的一个重要技术参数，按氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮三级，它们的纯度分别为99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。纯氮N2≥99.99化工、治金、电子工业高纯氮N2≥99.999科研、电子、机械行业、色谱仪载气所以用于制冷剂的话，没什么区别。
高纯甲烷：甲烷纯度99.999%,氧（氩）含量1ppm,氮含量5ppm,其他总碳含量1ppm,水分含量1ppm。 纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.99%,,氧（氩）含量10ppm,氮含量35ppm,氢含量10ppm,水分含量15ppm。纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.9%,,氧（氩）含量50ppm,氮含量250ppm,氢含量50ppm,水分含量50ppm。超高纯氦气
从高纯，超高纯氦气供应商购买氮气的气瓶必须由质量检验单位定期进行技术检查，严禁使用安全阀超期的气瓶。充装一般气体的气瓶每三年检查一次，如在使用中发生有严重腐蚀或严重损伤的，应提前进行检验。.