当Edwards进口分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
打开Edwards进口分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。
检查真空表是不是出现了问题,Edwards进口分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏,机械泵是否旋转,系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。