Edwards真空分子泵维修需要注意什么呢？求解答

Edwards真空分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

检查真空表是不是出现了问题，Edwards真空分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。

打开Edwards真空分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。