真空值是高分辨率光谱仪一个重要的参数,如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。操作人员可以通过看真空值曲线是否平缓,不平缓的话,就是漏气的地方。可以通过检查真空室真空盖密封性,更换密封圈来解决故障。
高分辨率光谱仪不能正常工作时,可先启动仪器自诊断功能,检查仪器某些器件工作状况,或者根据仪器的异常现象,参照仪器使用说明书进行排查。
如果高分辨率光谱仪故障原因不是硬件问题,可通过调整、重新设置光谱仪参数等技术操作解决的,可自行处理。