在正常传输之前,应对真空泵进行一次测试,以检查varian涡轮分子泵是否具有异常的振动和冲击动力学特性。使用的真空泵还应确定真空泵的极限压力,该极限压力应符合技术标准。在长期运行的条件下,真空泵不应超过70度。干抽速的测定。干燥比较复杂,通常不检查。
varian涡轮分子泵长时间未操作或环境温度较低时,可能会导致启动困难。此时,真空泵的吸入口应排空到大气中,并且皮带轮应随风旋转。储存在腔体中的机油将排入燃油箱并可以启动。如果不可能,则可以通过辐射加热或红外灯直接加热真空泵,直到动态停止为止。
varian涡轮分子泵操作完成后,应先关闭高真空阀,然后再关闭低真空阀。然后停止旋转叶片真空泵,然后放气(例如,使用电磁真空皮带放气阀自动放气),以避免机油回流到真空系统,终切断了主电源。停水了。