真空法主要用于真空密封性能要求，但不带压力的产品，如空间活动部件、液氢罐车、环境模拟设备等。
当使用真空法检测泄漏时，需要使用辅助真空泵或泄漏检测器对被检测产品的内部密封室进行真空，并使用氦盖或喷雾法在被检测产品的外表面施加氦。当被检测产品表面有泄漏孔时，氦将通过泄漏孔进入被检测产品，然后进入氦质谱检漏仪，从而实现被检测产品的泄漏测量。根据不同的漏气方法，真空法可分为真空喷射法和真空氦盖法。
真空喷射法：用喷qiang将氦气喷射到被检产品外表面，可实现漏孔的精que定位；真空氦罩法:用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有被检产品，充满一定浓度的氦，可测量被检产品的总泄漏率。