1、岛津真空泵冷却不足。解决方法:a清除真空泵上的尘垢。b检查冷却风扇。
2、岛津真空泵环境温度过高。解决方法:遵守真空泵操作环境温度范围要求。
3、岛津真空泵油位太低。  解决方法:加油。4、岛津真空泵排气过滤器堵塞。 解决方法:更换排气过滤器。