可燃物在催化剂作用下燃烧。与直接燃烧相比，催化燃烧法温度较低，燃烧比较完全。催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的和金属氧化物多组分物质。
催化燃烧法设备特点: 1、废气处理设备采用催化燃烧工艺，技术成熟，性能稳定，净化。 2、有机废气处理设备采用模块化生产，安装快捷方便，省时省力。 3、催化燃烧设备采用微型化工艺，满足不同场所的安装要求。 4、废气净化装置智能控制，操作安全简单。 5、VOCS大气处理设备采用等催化剂，点火温度低，运行成本低。
催化燃烧法是指可燃物质在低温(200 ~ 400℃)下借助催化剂完全氧化。其本质是涉及活性氧的深度氧化。在催化燃烧过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时，催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子集中在表面，提高反应速率，加速反应。