粗抽泵粗抽泵是指从大气压初步失落真空系统压强到达另一抽气系统能够初步工作的真空泵。
前级泵前级泵是指用于使另一个泵的前级压强保持在其前级压强以下的真空泵。
保持泵保持泵是指认真空系统抽气很小时,不可以有用的使用重要前级泵。为此,在真空系统中另配一种抽气速率较小的协助前级泵来保持主泵的正常工作或保持已抽闲的容器所需的高压的真空泵。