超高纯氮气可以用于电子工业：电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等
我知道能够用于制冷剂中，超高纯氮气可以做低温粉碎的制冷剂。还可以做冷却剂。
这个吧，常用作保护气体，如：瓜果，食品，灯泡填充气。超高纯氮气以防止某些物体暴露于空气时被氧所氧化，用氮气填充粮仓
