化学反应时用于防止某些活泼基团被氧化,可通氮气,赶走氧气以保护那些基团,减少副产物的生成,得到想要的反应结果。高分子聚合反应时,引发剂引发聚合时,氧气是一种阻聚剂,会消耗大量的引发剂,从来通氮气可以使引发反应更好更快地进行,减少了大量引发剂的消耗。
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
纯氮、高纯氮和超纯氮产品的技术要求、检验方法以及包装、标志、贮运、安全警示等。本标准适用于空气分离或经净化得到的气态或液态的纯氮、高纯氮和超纯氮,主要用作保护气、置换气、反应气等。 本标准与GB/T8979—1996和GB/T8980—1996相比主要变化如下:———调整了规范性引用文件;———修改了纯氮、高纯氮的技术要求;———修改了氢、氧、CO、甲烷的测定方法———增加了氩含量的测定方法。