千野厚度仪的优点是：晶闸管具有体积小、重量轻、效率、控制使用方便、无噪声等优点。
千野厚度仪除非断开阳极电源回路或将阳极电流降低到小于晶闸管的维持电流。通常情况下，触发晶闸管所需的电流等于流过晶闸管电流的1/100~1/1000。
千野厚度仪用很小的功率控制较大的功率,功率放大倍数可达到几十万倍 2)控制灵敏,反应快,晶闸管的导通和截止微秒级
