正常使用下,为什么Edwards进口分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因:过热,负载大 解决措施:检查冷却系,检查系统
胶圈口Edwards进口分子泵要用多少卡钳,使用才安全? 不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等
真空度很好的情况下,Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道? 原因:油池裂开或密封不良 解决方法:检查油池