废气在线监测系统工艺方法有：喷淋+等离子、喷淋+UV光解、喷淋+光解等离子、微生物法、RCO燃烧法、浓缩回收法 。在实际工程运用中，针对小气量低浓度的场所可以考虑微生物法。
废气在线监测系统是有毒、有害的气体，释放在空气中不仅会造成严重的环境污染，而且人体若长期接触或吸入，将会给神经系统及造血功能带来严重危害，甚至引发癌变及其他疾病直至死去。它还是造成大气臭氧浓度上升，形成区域性光化学烟雾、酸雨和雾霾复合污染的重要原因之一。
废气在线监测系统技术净化原理 焚烧炉-高温焚烧处理有机废气，成本高，产生二次污染 UV光解净化器，技术成熟，净化率有98%,无二次污染 活性炭吸附塔，技术成熟，净化率有90%,后期维护麻烦通常和UV光解一起使用