Edwards真空分子泵维修维修要注意什么内容？拜托了帮个忙

Edwards真空分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

当Edwards真空分子泵维修未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。

检查真空表是不是出现了问题，Edwards真空分子泵维修出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。