高精密行星减速机由一个内齿环(A)紧密结合於齿箱壳体上，环齿中心有一个自外部动力所驱动之太阳齿轮(B)，介于两者之间有一组由三颗齿轮等分组合於托盘上之行星齿轮组(C)该组行星齿轮依靠着出力轴、内齿环及太阳齿支撑浮游於期间；行星减速机当入力侧动力驱动太阳齿时，可带动行星齿轮自转，并依循著内齿环之轨迹沿著中心公转，游星之旋转带动连结於托盘之出力轴输出动力。
高精密行星减速机噪音产生主要是源于传动齿轮的摩擦、振动以及碰撞，如何有效降低及减少噪声，使其更符合环保要求也是国内外一个重点研究课题。降低减速机运行时的齿轮传动噪声已成为行业内的重要研究课题，国内外不少学者都把齿轮传动中轮齿啮合刚度的变化看成是齿轮动载、振动和噪声的主要因素。
高精密行星减速机特别是输入功率大于11KW的减速电机须注中负载齿轮油。注意经常检查润滑油、液压油、冷却液、油位和品质，并注意检查整机的密封性。检查中发现油缺少过多，应分析原因。同时，应强化各润滑点的润滑，建议在磨合期内，每周都要对润滑点加注润滑脂―(特殊要求除外)。立式带油泵的减速机接电源时注意油泵旋转方向，顺时针旋转为正确。