当爱德华分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
打开爱德华分子泵维修之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
爱德华分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
