Pfeiffer涡轮分子泵Hipace系列，采用复合轴承设计，内部主要由陶瓷球轴承，转子轴，安全轴承和磁性轴承组成，正常运行3-4年建议做一次标准保养
Pfeiffer涡轮分子泵真空度正常，可以达到全速，但是噪音大：分子泵运行超过3年，可能内部陶瓷球轴承已磨损，建议送到zhuan业真空泵维修中心进行拆解检测；如果放任不管，后续会磨损转子，对泵体内部造成更严重的损伤
Pfeiffer涡轮分子泵无法达到全速，真空度抽不下去：请检查前级真空是否正常，如果是分子泵组，请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下，无法解决问题建议立即送修检测