哪位知道爱德华分子泵维修维修有哪些是需要注意的？

当爱德华分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。

爱德华分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏

当爱德华分子泵维修出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。