光氧催化设备中的纳米光催化催化催化材料是一种吸收光能后能在其表面产生催化反应的物质。当纳米波长的紫外照射光催化催化催化材料时，其表面发生光催化氧化还原反应。
光氧催化设备反应室与设备控制系统及电源连接部分应进行严格分离，任何带电部分禁止与废气接触，防止引燃引爆光氧催化设备内部的气体。
传统的光氧催化设备废气处理主要是催化、燃烧、垃圾填埋场处理，但这种处理会对环境造成二次污染，特别是燃烧需要加热处理，可以得到理想的废气处理，如果废气中有机浓度高，废气燃烧可以保持有机物分解所需的反应温度，燃烧法是一种经济可行的方法。