日本岛津磁悬浮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统,无需使用油润滑,在运转过程当中,无任何摩擦,是真正做到完全无油、免维护、quan方位安装的涡轮分子泵
日本岛津磁悬浮分子泵的基本原理是利用磁轴承产生电磁力使转轴处于无接触的悬浮状态,其悬浮状态的获得需要以转轴位置为基准实施磁轴承输出电磁力的控制
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