德国莱宝涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空,具有操作简单,可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后,可以实现低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。
TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功应用于许多场合。工作原理德国莱宝涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮,快速旋转的叶片将动量传输给气体分子,将起初无方向性的热运动变成有定向运动。
德国莱宝涡轮分子泵典型的应用:光涂料平板研究分析系统液晶显示器PVD涂层系统建筑玻璃膜