高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。液氩
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超纯氩气是一种惰性气体，在常温下与其它物质均不发生化学反应，在高温下也不溶于液态金属中，故在焊接有色金属时更能显示其优越性，超纯氩气是一种单原子气体，在高温下，超纯氩气直接离解为正离子和电子，因此能量损耗低，电弧燃烧稳定。液氩
