在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。
化学反应时用于防止某些活泼基团被氧化，可通氮气，赶走氧气以保护那些基团，减少副产物的生成，得到想要的反应结果。高分子聚合反应时，引发剂引发聚合时，氧气是一种阻聚剂，会消耗大量的引发剂，从来通氮气可以使引发反应更好更快地进行，减少了大量引发剂的消耗。
纯度是氮气的一个重要技术参数，按国标氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮三级，它们的纯度分别为99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。纯氮N2 ≥99.99 化工、治金、电子工业 高纯氮N2 ≥99.999 科研、电子、机械行业、色谱仪载气所以用于制冷剂的话，没什么区别，高纯氮主要适用于精密仪器