维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？ 帮忙解答一下

Edwards真空分子泵维修的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏

Edwards真空分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。