真空度很好的情况下,爱德华分子泵控制器油为何会返到前级管道? 原因:油池裂开或密封不良 解决方法:检查油池
正常使用下,为什么爱德华分子泵控制器油池会出现裂纹或者变形 原因:过热,负载大 解决措施:检查冷却系,检查系统
爱德华分子泵控制器为何会发生半边热,半边冷的现象? 原因:附近有光照或其他热源 解决方法:避免光照或热源