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多晶硅还原过程氢、氢氯、三氯甲硅料烷和四氯hua硅料四，不回收，将导致资源的浪费和环境污染。绝大多数的多晶硅料生产企业使用闭环法多晶硅料的生产改善，基本上可以满足环境保护的要求，但大型投资面临的问题。