Edwards进口分子泵维修要注意什么内容？有人知道吗？

当Edwards进口分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。

打开Edwards进口分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。

当Edwards进口分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。