三合一复合耐磨陶瓷衬板氧化铝陶瓷是一种以氧化铝(Al2O3)为主体的陶瓷材料,用于厚膜集成电路。氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性,需要用超声波进行洗涤。氧化铝陶瓷主要分为普通型和高纯型。高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料;普通型氧化铝陶瓷系按Al2O3含量不同分为99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品种,有时Al2O3含量在80%或75%者也划为普通氧化铝陶瓷系列。
三合一复合耐磨陶瓷衬板为了增强氧化铝陶瓷,显著提高其力学强度,国外新推一种氧化铝陶瓷强化工艺。该工艺新颖简单,所采取的技术手段是在氧化铝陶瓷表面,采用电子射线真空镀膜、溅射真空镀膜或化学气相蒸镀方法,镀上一层硅化合物薄膜,在1200℃~1580℃的加热处理,使氧化铝陶瓷钢化。
三合一复合耐磨陶瓷衬板氧化铝陶瓷具有机械强度高,绝缘电阻大、硬度高、耐磨、耐腐蚀及耐高温等一系列优良性能,可以制作厚膜集成电路、耐火炉管、绝缘材料、耐磨材料等器件和材料。中国的氧化铝陶瓷广泛应用于陶瓷、纺织、石油、化工、建筑及电子等各个行业,是目前氧化物陶瓷中用途产销量较大的陶瓷新材料。