当爱德华分子泵维修M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
打开爱德华分子泵维修之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。
爱德华分子泵维修每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。