光谱仪X 射线是一种电磁波，波长比紫外线还要短，为 0.001‐ 10nm 左右。X 射线照射到 物质上面以后，从物质上主要可以观测到以下三种 X 射线。荧光 X 射线、散射 X 射线、透过 X 射线，ESI英飞思NT 产品使用的是通过对一种荧光 X 射线的测定，从物质中获取元素信息（成分和膜厚）的荧光 X 射线法原理。物质受到 X 射线的照射时，发生元素所固有的 X 射线（固有 X 射线或者特征 X 射线）。荧光 X 射线装置就是通过对该 X 射线的检测而获取元素信息。
光谱仪(1) 能散和波散的区别应该先从 X 射线性质说起：X 射线作为电磁波的一种具有明显的波、粒二项性。波具有波长、频率，还有反射、折射、衍射等性质，粒子具有质量、速度、动能、势能等性质。以此两个不同物理性质研发的研究波长的 X 荧光光谱仪叫波长散射型荧光光谱仪，研究能量的 X 荧光光谱仪叫能量散射型荧光光谱仪。 (2)波长色散X射线荧光光谱像原子的发射\吸收光谱仪一样,是需要单独的色散光学系统分辨不同的特征 X 射线激发的二次荧光光谱,然后才由辐射检测器(比如正比计数器\半导体检测器等)检出;而能量色散型 X 射线荧光光谱仪不象前者需要单独色散系统,它的二次荧光光谱色散及检出都是由辐射检测器根据其不同的能量值将其检出并放在计算机或者单片机内。
光谱仪(1)荧光元素分析受限于标样难以制备或试样的均匀性，多数只能做为一种品质的管控方法，准确度相对化学分析较低。 (2)素分析中的检量线法就是以标准物质为基础进行标准曲线分析，如果实际样品和标准物质不一致，那么分析结果肯定也不会很准确，只能做参考。 (3)用基本参数法测试金属时，果测试样品里含有 C、H、O 等轻元素，会出现误差，因为仪器无法识别这些元素。