高精密行星减速机由一个内齿环(A)紧密结合於齿箱壳体上，环齿中心有一个自外部动力所驱动之太阳齿轮(B)，介于两者之间有一组由三颗齿轮等分组合於托盘上之行星齿轮组(C)该组行星齿轮依靠着出力轴、内齿环及太阳齿支撑浮游於期间；行星减速机当入力侧动力驱动太阳齿时，可带动行星齿轮自转，并依循著内齿环之轨迹沿著中心公转，游星之旋转带动连结於托盘之出力轴输出动力。
高精密行星减速机自然冷却的方式好但是可能散热效果慢，因为在体外设置了助散热的片可以与外界交流温度达到降温的效果，但这样需要外界和内部有一定的气温差效果才明显。利用风扇冷却减速机：如果形式不能帮助机器散热可以采用外界风力进行降温处理。利用冷水冷却机器：因为减速机中的油池会装有蛇形水管往里通入冷水可以达到降温的目标。
高精密行星减速机特别是输入功率大于11KW的减速电机须注中负载齿轮油。注意经常检查润滑油、液压油、冷却液、油位和品质，并注意检查整机的密封性。检查中发现油缺少过多，应分析原因。同时，应强化各润滑点的润滑，建议在磨合期内，每周都要对润滑点加注润滑脂―(特殊要求除外)。立式带油泵的减速机接电源时注意油泵旋转方向，顺时针旋转为正确。