若发现是高分辨率光谱仪硬件损坏，应请维修工程师来现场处理，若无法查出故障原因，也应及早与维修工程师沟通，及时传递仪器的故障信息，以便工程师来现场维修之前能大概判定故障原因并准备好所需的备品备件。
高分辨率光谱仪故障的检查： 1、检查仪器和所有附件插座都插好并接通电源。 2、保证光纤光谱仪(如果附带电源)都插好并接通，由于光纤光谱仪有不同种类，可参照每个激光器的说明书获取进一步的帮助。 3、在有两个或多个激光器的系统中，确保联锁系统设置在正确的位置上，正确的激光器被接通。 4、检查仪器的外罩处于安全的关闭状态，联锁装置正在运转。
新高分辨率光谱仪电脑出现死机，程序错误、黑屏、分析软件的START状态不对有时变为黄色不动，有时虽然动但是变为红色， 处理办法：此为通讯线接触不良，重新连接即可。
