光谱仪X 射线是一种电磁波，波长比紫外线还要短，为 0.001‐ 10nm 左右。X 射线照射到 物质上面以后，从物质上主要可以观测到以下三种 X 射线。荧光 X 射线、散射 X 射线、透过 X 射线，ESI英飞思NT 产品使用的是通过对一种荧光 X 射线的测定，从物质中获取元素信息（成分和膜厚）的荧光 X 射线法原理。物质受到 X 射线的照射时，发生元素所固有的 X 射线（固有 X 射线或者特征 X 射线）。荧光 X 射线装置就是通过对该 X 射线的检测而获取元素信息。
光谱仪(1) 要分清楚关注的对象，荧光分析仪较常见的两类为膜厚仪与元素分析仪，其针对的目标不同。如测厚度一般可以采用薄膜 FP 法或薄膜检量线法,测元素则用块体 FP 法与块体检量线法。
光谱仪(1)准直器的作用是将发散射线变成平行射线束，是由一系列间隔很小的金属片制成。 (2) 准直器由平行金属板组成，其片间距越小，分辨率越高，强度也越小。(3) 光纤准直器是光纤通信系统的基本光学器件，其作用是把光纤中发散的光束变成准直光，使其以非常小的损耗耦合到光纤中。 (4) 准直器有方型的,也有圆形的,是限制 X 射线对应于样品的测量作用范围. 11.我们用的荧光分析仪摄像头没法用，看不到检测样品的部位，就是打开之后什么也不显示，不知道是什么原因？ 答：(1)可能是数据线接口松了，可以把接电脑的ＵＳＢ线拨掉再接上，或者查看ＣＣＤ视频卡线有无松动。 (2) 完成以上步骤后，可以重启电脑再检查。 (3) 还有一种可能，早期 USB 线传输速度慢，如传输数据包大或过快有可能导致数据阻塞，此时可以升级或放好样品关闭视窗再检测样品。