敢问大家，有什么方法维修爱德华分子泵控制器？

真空度很好的情况下，爱德华分子泵控制器油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池

爱德华分子泵控制器有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？ 原因：防护网裂开，前级管道裂开 解决方法：优化系统设计

爱德华分子泵控制器中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。