真空值是国产光谱仪一个重要的参数，如果真空值下降过快就证明仪器出现了故障。操作人员可以通过看真空值曲线是否平缓，不平缓的话，就是漏气的地方。可以通过检查真空室真空盖密封性，更换密封圈来解决故障。
国产光谱仪不能正常工作时，可先启动仪器自诊断功能，检查仪器某些器件工作状况，或者根据仪器的异常现象，参照仪器使用说明书进行排查。
国产光谱仪的光强值下降下降的话，将会对设备造成非常大的影响。我们要尽快找出原因，然后进行排查。导致这个现象的原因是透镜脏、入射狭缝污染光纤老化。可以擦拭透镜，清理狭缝，更换光纤来进行解决。