有谁知道：维修Edwards进口分子泵要注意什么？ 想知道

检查真空表是不是出现了问题，Edwards进口分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。

当Edwards进口分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。

当Edwards进口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。