打开Edwards真空分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀。
Edwards真空分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
Edwards真空分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏