敢问大家，Edwards二手分子泵维修有什么注意事项？

Edwards二手分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵

当Edwards二手分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。

当Edwards二手分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。