当爱德华分子泵控制器出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。
当爱德华分子泵控制器未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
爱德华分子泵控制器的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏