碳化硅石墨坩埚怕受潮，受潮后对质量有很大影响，如果使用受潮的坩埚会出现、爆片、掉帮和掉底等现象，造成熔化金属的损失，甚至发生事故。
现在使用碳化硅石墨坩埚很多用户都不是很规范，这样也会使得事倍功半，并且碳化硅石墨坩埚具有耐高温，高熔点等特性，所以都很常用的，那么处了在使用过程中需要注意事项外，在使用前也要先做准备工作的首先需要在工作前检查碳化硅石墨坩埚是否有裂痕，无裂痕需把碳化硅石墨坩埚加热到600C以上充分干燥。
碳化硅石墨坩埚的养护方法：有些部分发生损坏但是没有到更换期限的碳化硅石墨坩埚可以更换也可以凑合用，进行密封保存的{精}再次使用时，建议大家使用在提纯的炉子上。在每次拆炉时，要清理氧化物，并把石墨件上的渗硅清理干净，一些保温盖等部件要擦拭干净，避免一些杂物污染原料。