Edwards二手分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏
当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机q进行检查。 在再次打开Edwards二手分子泵之前,请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时,严禁再次启动分子泵进行后处理。
Edwards二手分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵