当Edwards进口分子泵出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵。
Edwards进口分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
Edwards进口分子泵每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏。