一般来说，处理困难气体的催化剂是二氧化钛的高科技材料，光氧活性炭一体机催化处理效果好，各种有害物质处理效果好。其设备还具有无需添加任何物质、适应性强、运行成本低、无预处理等优点。
传统的光氧活性炭一体机废气处理主要是催化、燃烧、垃圾填埋场处理，但这种处理会对环境造成二次污染，特别是燃烧需要加热处理，可以得到理想的废气处理，如果废气中有机浓度高，废气燃烧可以保持有机物分解所需的反应温度，燃烧法是一种经济可行的方法。
光氧活性炭一体机内的所有紫外线灯管均采用独立电源模块供电，此电源模块具备过压、过流、空载、短路、超温等保护功能。紫外线灯管一有异常，电源模块即停止该光管的运行并发出警示。