一般情况下，agilent分子泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用*油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
agilent分子泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，z高温度不得超过80C 。
工作时如发现agilent分子泵有异常声音应立即停车检查原因。
